凡超速離心機內都有真空部分。如果超速離心機的轉頭室內真空度達不到要求時，轉頭轉速也就達不到要求。一般要求真空度為5 X 10-2到5 x 10-s,隨著轉速增高，對真空度要求也愈高。

　　超速離心機獲得真空部分是由二極旋片式真空泵、油擴散泵和電離式真空計(又稱皮拉尼真空計)所組成。

　　1.旋片式真空泵

　　它是二級串聯式真空泵。用它作為抽系統中粗真空，一旦系統達到粗真空最高極限后，系統即串入擴散泵.在使用旋片式真空泵中要注意真空泵中不得吸入水等污物，并且要定時更換專用真空泵油，才能保持真空泵的抽空性能。

　　2.(油)擴散泵

　　是獲得高真空的設備，其結構見圖1一31所示。它的工作原理;是利用擴散泵油被加熱呈蒸氣狀態，當其蒸發中經一次噴口③，在擴散中將真空系統中從法蘭接口①所來的微量氣體一并攜出，由于泵體⑩外有水冷卻，油霧冷凝呈油滴流下，氣體由前級旋片泵抽去。